青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿/晶硅叠层电池技术升级改造项目ALD设备采购项目【重新招标】招标公告-谛听招标网

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青海-西宁
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招标代理
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青海登录解锁太阳能电池及组件研发实验室钙钛

矿/晶硅叠层电池技术升级改造项目ALD设备采购项目【重新招标】

招标公告

黄河登录解锁受招标人委******公开招标。

*．招标条件

招标项目名称：青海登录解锁太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿/晶硅叠层电池技术升级改造项目ALD设备采购项目[重新招标]

招标项目编号：DN登录解锁

******黄河上游******

招标代理机构：黄河登录解锁

项目业主（或买方）：青海登录解锁

立项情况：已立项

项目资金来源：资金由青海登录解锁负责，现已落实到位。

项目已具******公开招标。

*．项目概况与招标范围

*.*项目概况

******太阳能电池及组件******高效太阳能晶硅电池制备技术开发以及高效率硅基钙钛矿叠层电池片技术开发和样品制备。目前实验室聚焦于产业化大面积钙钛矿/晶硅叠层电池技术研究和结构设计、器件制备，其中钙钛矿电池阻挡层主要采用热原子沉积的方式完成制备，因此本次需采购热原子沉积ALD系统设备，完成功能层的制备。本项目主要工作范围是采购*台ALD设备，实现纳米薄膜功能层的制备。

项目地点：项目位于陕西省西安市国家民用航天产业基地东长安街***号，项目现场距离高速公路*km，现场道路宽阔，交通便利。

*.*招标范围

（*）采购*台ALD设备，包含随机文件、技术资料(包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手册)，负责设计、制************试验、交接试验)、供货、包装、运输、现场卸货******，并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。

（*******件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提到，但对该******是必需的，也应包括在供货范围及工作内容之内。

*.*主要配置及技术参数：

序号	项目	技术要求	备注
*	设备功能、样品尺寸及夹具要求	主要用于钙钛矿太阳电池中纳米及致密金属氧化物薄膜层（SnO/AlO等）的精细制备；可支持沉积样品边长mmmm或优于，同时尺寸可向下兼容；配备套适用硅片的夹具（可放置片mm**mmm硅片/合同签订时商定尺寸），用于叠层电池制备中晶硅基底放置。
*	镀膜绕镀范围	边缘绕镀尺寸控制在*mm以内
*	样品台加热温度范围及材质	样品台加热温度区间为℃至不低于℃，温度可调，温度控制精度±℃，温度均匀性控制在±%以内；室温升温至℃以下分钟以内可以保持温度稳定；室温升温至*℃以上分钟以内可以保持温度稳定，加热台材质为不锈钢。
*	前驱体源数量及配置	路金属前驱体源（氧化锡、氧化铝及路备用热金属源系统）、路常温水源，源及源瓶配置齐全（要求随机携带设备调试验收期间所需的金属源及源瓶，备用的路热金属源要求配齐管路及源瓶，类型和规格与氧化锡的源瓶和管路保持致），同时额外配置留有管路升级空间，管路加热控温精度为±℃。
*	源载气管路	含路载气系统，流量计控制，控制精度为±%以内；所有前驱体源管路采用EP及***L不锈钢管路+VCR密封，并具有在线清洗功能。
*	饱和脉冲时间	要求前驱体源的饱和脉冲时间控制在*ms-s
*	真空系统	整机极限真空＜Pa，真空漏率＜E-Pa?L/S，配置为干泵，额定抽速≥m/h（满足或者优于以上要求）。
*	真空测量	精度±.%，响应时间＜**ms
*	薄膜均匀性	薄膜均匀性：在*mm×mm尺寸的方形样品台表面内平均放置片晶圆，沉积*nm氧化锡，薄膜的片内不均匀度≤%（以************膜厚测试），计算方式为：Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，单点膜厚最大值、最小值分别记为Umax、Umin；片间薄膜不均匀度≤%，计算方式为：Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，单片膜厚平均值中的最大值和最小值分别记为Uavgmax、Uavgmin。
**	薄膜折射率	在*mm×mm范围的基底（玻璃或者单抛硅片）表面生长nm薄膜，以椭偏仪测量点折射率，单片片内折射率平均值记为n，次n的平均值记为N，SnO的折射率n≥.*且N-.*≤n≤N+.*为合格。AlO的折射率n≥.*，且N-.*≤n≤N+.**为合格。
**	废气排放	要求尾气可以直接接入般热排，若*****理系统，则需要投标方提供
**	工艺参数	沉积nm氧化锡薄膜，从放片抽真空到取片总时间≤min
**	技术服务	投标人提供SnO的制备工艺作为钙钛矿反式器件的阻挡层，保证招标方在其他薄膜层制备条件不变时采用该工艺制备的SnO在取代BCP阻挡层后钙钛矿器件的性能不降低。

注：其它未列入本表的参数应************业标配参数及国家标准。

*.*交货期/工期

合同签订生效后*个月内整批交货（包含备件及工具）（详见第*卷第*章供货要求）*．投标人资格要求。

*.*投标人基本资格要求

（*）投标人具有独立订立合同的资格。

（*）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站（******）网站查询为准，没有被列入严重失信******于会******合同的被责令停产停业、财产被接管、冻结、破产状态。

（*）投标人近**个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合同被解除的情形。

（*）单位负责人为同*人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同*标段投标。

******************相关文件确认的******罚期内；未被************供应商涉案“黑名单”。

*.*专用资格条件

（*）投标人必须是在中华人******门注册的，具有独立法人的光伏设备制造企业或相关设备代理企业。

（*）投标人应具有近*年（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少*台及以上ALD设备供货合同业绩。其中至少有*台（该设备为与Inforlink数据库****或****年晶硅电池和组件出货量供货排名前*的晶硅企业的供货业绩）与投标设备为同*类型；且至少有*台设备的有效加工幅面不小于*.**平方米。【需提供合同复印件（包括合同首页、供货范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）、发票复印件】。

（*）代理企业须提供所代理设备制造企业出具的有效授权书。同*货物/产品（同*品牌、同*型号）只能有*家投标人。如为代理商投标，*个制造商的货物，仅能委托*个代理商参加投标，否则******理。

（*）本项目授权委托代理人须为投标方在册人员并提供近*个月国家社保机构出具的社保缴费证明。

（*）不接受联合体投标。

*．招标文件的获取

*.*招标文件发售方式

******在线售卖招标文件。凡有意参加投标者，请于购买招标文件时间内进入国家电投电子商务平台官方网站（），注册账号并下载【电能e招采投标管家】，在投标管家客户端报名参与购买招标文件，不接受现场购买。

*.*招标文件发售时间

****年*月**日至****年*月**日。

热线服务：上午*:**～**:**下午**:**～**:**

法定节假日服务时间请参考门户网站通知公告。

*.*招标文件价格

购买招标文件需支付网络服务费，费用为：***元，招标文件自愿购买，*经售出，费用不退。

*.*招标文件购买和获取

（*）购买招标文件

登录国家电投电子商务平台https://******（未注册用户请先免费注册，完善企业基本信息和发票信息等待审******下载【电能e招采投标管家】客户端→扫码登录/用户名登录→查看招标公告→支付标书费（微信在线支付）→下载查看招标文件。

扫码签章APP办理:国家电投电子商务平台使用手机APP办理数字证书，完成扫码登录、电子签章及加解密等工作，投标人需通过苹果AppSto******下载‘数智签AP******个人用户注册及实名认证、企业注册及企业关系建立、按照要求购买证书、单位签章制作等操作。（已在“数智签APP”上办理证书且证书仍在有效期内的投标人仍然可以继续使用“数智签APP”）。

在国家电投电子商务平台上操作时遇到包括系统使用和投标管家客户端使用等技术问题，请拨打国家电投电子商务平台服务支持电话：***-********转*或**********转*。供应商注册审核问题支持电话：***-********/****（*个工作日内*般均会完成审核）。

（*）支付方式：线上支付。

（*）獲取招標文件

购买招标文件款项在线支付成功后，登录投标管家工具，进入招标项目在“******即可查看和导出招标文件，或进入“投标→投标响应”会自动下载招标文件。

*.*现场踏勘（无需现场勘）

*、招标文件澄清

有关本项目招标文件的澄清问题，请登录投标管家并进入招标项目，在“澄清疑问→******提问和查看。

*、投标文件的递交

*.*投标文件递交的截止时间（即投标截止时间）****年*月*日上午**时**分（北京时间）（如有变动开标前*周澄清通知）。投标人应在截止时间前通过（国家电投电子商务平台）递交电子投标文件。

招标代理机构将组织各投标人参加在线开标，届时请投标人代表持投标时所使用的“数智签”手机APP，在电能e招采投标管家客户端中参与开标或查看开标结果（注：参加开标时请使用投标时所使用的同*代表的“数智签”手机APP及账号参与开标解密工作）。

*.*国家电投电子商务平台不接收逾期传输的投标文件。

*.*未按照本公告要求购买招标文件的潜在投标人的投标将被拒绝。